5月9日音尘，据集微网报谈，“据报谈，上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)自主研发的系列28nm浸没式DUV光刻机，近日完成首批批量录用，参加量产工艺考证阶段。”在该音尘发布之后，坐窝激发了业内的热议。关联词，芯智讯在过程与光刻机及晶圆制造企业干系东谈主士换取后发现，该著作里面安分容似乎存在不少事实问题。1、集微的报谈并未给出具体的信源，只说“据报谈”，到底是据哪家委果的媒体报谈，根底没提。这不合乎这种新闻的严肃性。

2、报谈称“2026年1月，上海微电子在长三角半导体产业峰会上，初度官宣SSA800系列终了全面量产。”

关联词，这个所谓的“长三角半导体产业峰会”根底莫得任何泰斗媒体的干系报谈，也查不到具体的举办时刻、场合、专揽方及与会嘉宾和企业。更别说什么“上海微电子官宣”了，上海微电子的官方从未讲求败露过上述音尘。

天然网上大要找到本年1月一些自媒对于“长三角半导体产业峰会”的音尘，关联词也一谈王人是与“上海微电子官宣SSA800系列量产”绑定的信息。那时，九游体育9GameSports中国官网笔者也关联注到过这个音尘，关联词认为是“小作文”，阛阓也有过一轮基于这个音尘炒作光刻机主张股。

3、报谈还指出“2026年3月，在SEMICON China2026海外半导体博览会上，上海微电子初度公开展示了该机型。”

关联词，芯智讯在SEMICON China2026海外半导体博览会有去过上海微电子的展台，现场根底就莫得展示所谓的样机。何况在展会期间和展会驱散后的一段时刻，也根底莫得干系媒体报谈此事。

△芯智讯在SEMICON China2026展会上海微电子展台拍摄的像片

4、报谈称“SSA800系列选拔193nm ArF浸没式光刻时代，单次曝光原生扶植28nm制程，米兰体彩2026世界杯(中国)IOS/安卓官方下载可通过多重曝光工艺踏实终了 14nm 乃至更先进的工艺坐蓐。征战套刻精度戒指在2.3~2.5nm，量产良率踏实在90%~95%区间，每小时可科罚150片晶圆。”

据芯智讯了解，SSA800本体上即是近几年阛阓一直别传的国产“28nm光刻机”，是一款193nm ArF浸没式光刻机，对宗旨是ASML TWINSCAN NXT:1950i。尔后者的专用卡盘套刻精度为2.5nm，夹杂匹配套刻精度为3.5nm，每小时可科罚200片晶圆。是以，说SSA800系列套刻精度戒指在2.3~2.5nm，每小时可科罚150片晶圆，应该是大差不差。

不外，说SSA800系列的“量产良率踏实在90%~95%区间”似乎是有点离谱了。因为光刻机自己并莫得所谓的“量产良率”的说法。

一位光刻机厂商里面东谈主士对芯智讯直言：“这是假音尘，光刻机那处来的良率。”即便说的是在产线上替代ASML光刻机后芯片最终产出的量产良率也很夸张。

要知谈台积电的28nm是在2011年量产的，之后经验较长的良率爬坡阵痛期。2012年上半年，英伟达和高通王人曾公开沮丧良率不及、产能吃紧。到2012年8月，中国台湾媒体财征引供应商音尘称良率已进步至跳动80%。

一位国内晶圆代工场里面东谈主士告诉芯智讯，当今SSA800系列并未参加国内的交易化晶圆厂，似乎还是在“ICRD”进行测教师证。是以何来的量产批量录用，何来的“90%~95%”量产良率？

期盼国产光刻机获取龙套，是每一个温雅中国科技发展的东谈主最朴素的边幅。咱们渴慕看到“卡脖子”清单上的名堂被一项项划掉，也渴慕听到国产征战在先进制程上获取龙套的音尘。关联词，这种渴慕越是锐利，就越应该守住感性的底线。流毒的、自嗨的音尘，伤害的是公众对真实推崇的判断力，也阻挠了产业链高下贱一步一个脚印攻坚的严肃性。确凿的解围，从来不需要靠流毒的“放卫星”来解释我方，时刻会给出最老诚的谜底。

剪辑：芯智讯-浪客剑米兰体彩2026世界杯(中国)IOS/安卓官方下载